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原文由 tutm(tutm) 发表:
没用过这个仪器。
看了一下仪器的小册子，技术指标感觉写得还是蛮清楚的，见下图。
楼主的疑问好像应该是这样看吧：
测量精度，正负0.1%，这个指标是有的；
灵敏度，15nm，这应该是指有效的最小测量距离了，可能是排除了噪声等影响
位移分辨率，0.5nm，这应该是仪器的光栅位移传感器的解析率，这可能是传感器设计的一个理论值吧。
原文由 人来人往(free365) 发表:原文由 tutm(tutm) 发表:
没用过这个仪器。
看了一下仪器的小册子，技术指标感觉写得还是蛮清楚的，见下图。
楼主的疑问好像应该是这样看吧：
测量精度，正负0.1%，这个指标是有的；
灵敏度，15nm，这应该是指有效的最小测量距离了，可能是排除了噪声等影响
位移分辨率，0.5nm，这应该是仪器的光栅位移传感器的解析率，这可能是传感器设计的一个理论值吧。
如果这样，分辨率的指标完全是没有意义的。
小于15nm的信号仪器已经无法识别，0.5nm的解析度纯属厂家自娱自乐？
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