主题：【求助】用XRF如何测量某一点，微区（如1mm2）的原素含量？

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我想确认产品某一点、微区（如1mm2）的元素含量，不知如何做，请BY赐教。谢谢！

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但是国内的最小是6mm（帕纳科）。
电子扫描显微镜是不是能做到？

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但是国内的最小是6mm（帕纳科）。
电子扫描显微镜是不是能做到？

原文由 kevinw(kevinw) 发表:
Capable of both minute area analysis and high sesitivity anallysis.
-Minute area analysis:1.2mm X-ray irradiation diameter and filters for simultaneously analyzing five elements.
-High sensitivity annalysis: 3mm X-ray irradiation diameter and dual filter system.

以上是来自日本厂家的一段产品介绍，大致意思是说可以做到1.2mm和3mm的光斑大小（这是我见过的最小的），还说到了滤光系统。具体采用的什么技术，我还是很清楚，估计要采用类似一个导管一样的装置，否则怎么能做到这么小呢？

顺被问一下，楼主要测试什么样品，有什么测试要求呢？

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Capable of both minute area analysis and high sesitivity anallysis.
-Minute area analysis:1.2mm X-ray irradiation diameter and filters for simultaneously analyzing five elements.
-High sensitivity annalysis: 3mm X-ray irradiation diameter and dual filter system.

以上是来自日本厂家的一段产品介绍，大致意思是说可以做到1.2mm和3mm的光斑大小（这是我见过的最小的），还说到了滤光系统。具体采用的什么技术，我还是很清楚，估计要采用类似一个导管一样的装置，否则怎么能做到这么小呢？

顺被问一下，楼主要测试什么样品，有什么测试要求呢？

本公司是生产平板玻璃的，玻璃缺陷非常小，我们想测试缺陷的元素成分，以便判断缺陷的产生位置。

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Capable of both minute area analysis and high sesitivity anallysis.
-Minute area analysis:1.2mm X-ray irradiation diameter and filters for simultaneously analyzing five elements.
-High sensitivity annalysis: 3mm X-ray irradiation diameter and dual filter system.

以上是来自日本厂家的一段产品介绍，大致意思是说可以做到1.2mm和3mm的光斑大小（这是我见过的最小的），还说到了滤光系统。具体采用的什么技术，我还是很清楚，估计要采用类似一个导管一样的装置，否则怎么能做到这么小呢？

顺被问一下，楼主要测试什么样品，有什么测试要求呢？

本公司是生产平板玻璃的，玻璃缺陷非常小，我们想测试缺陷的元素成分，以便判断缺陷的产生位置。

XRF常用在玻璃（融片法）测试玻璃种主要及次要元素如铝、钙、镁、铁、钛、钾、钠、砷等，关于楼主所说的缺陷部分元素分析，我之前没有遇到过（才疏学浅，见谅）。楼主是专业人士，能否告知：通常情况下缺陷是有哪些元素引起的？这些元素含量范围在多少？如果能确定以上两个问题，基本可作为依据判断是否能用微区XRF进行测试。

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Capable of both minute area analysis and high sesitivity anallysis.
-Minute area analysis:1.2mm X-ray irradiation diameter and filters for simultaneously analyzing five elements.
-High sensitivity annalysis: 3mm X-ray irradiation diameter and dual filter system.

以上是来自日本厂家的一段产品介绍，大致意思是说可以做到1.2mm和3mm的光斑大小（这是我见过的最小的），还说到了滤光系统。具体采用的什么技术，我还是很清楚，估计要采用类似一个导管一样的装置，否则怎么能做到这么小呢？

顺被问一下，楼主要测试什么样品，有什么测试要求呢？

本公司是生产平板玻璃的，玻璃缺陷非常小，我们想测试缺陷的元素成分，以便判断缺陷的产生位置。

XRF常用在玻璃（融片法）测试玻璃种主要及次要元素如铝、钙、镁、铁、钛、钾、钠、砷等，关于楼主所说的缺陷部分元素分析，我之前没有遇到过（才疏学浅，见谅）。楼主是专业人士，能否告知：通常情况下缺陷是有哪些元素引起的？这些元素含量范围在多少？如果能确定以上两个问题，基本可作为依据判断是否能用微区XRF进行测试。

我也不算专业，只是略知一二。通常构成缺陷的元素有锡、锆、硫、钠、铝、硅等，含量范围（由于缺陷占测试面的大小不定）不好确定。