专用电子衍射的名词很多:选区衍射、微衍射、微微衍射、纳米衍射、会聚束衍射、大角会聚束衍射等等。让我分只有选区衍射(使用选区光阑选择衍射发生区,因平行光入射衍射点很锐)和非选区光阑衍射(不使用选区光阑,使用光斑尺寸实现区域的选择)。后者又可分成微区衍射(衍射点因光不再完全平行而演变成衍射盘,但盘中无可用信息)和会聚束衍射(衍射角增大,衍射盘中含有信息)。实际上,他们的区别仅在于光斑的大小和光会聚角。被称为MBED的也是微区衍射的一种。听起来吓人,操作上只是会聚电子束再切换到衍射。只是适度地掌握一下光斑的大小和平行度,你就可以实现各种不同的衍射。