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主题：【求助】哪位老兄明白AXIOS的P10气体流量控制系统，请指导一下。

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lzy20050916
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发表于：2011/10/03 11:21:01 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

P10气体控制系统的原理图，流量控制，密度稳定等。

P10气体参数可否在TDS里面调整？

这方面的资料好少啊，学习困难。
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2011/10/3 17:16:20 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个问题请金水版主来解答一下吧
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金水楼台先得月
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2011/10/4 8:22:15 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以在TDS调节，但是前提你能进TDS
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2011/10/12 9:56:09 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我要是能进，就好了。
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2011/10/18 10:27:14 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 金水楼台先得月(albert800922) 发表:
可以在TDS调节，但是前提你能进TDS




请问调节P10气体的流量，是调节“1 detector gas valve”,还是“2 manual flow adjustment”呢？？？
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2011/10/18 10:35:08 Last edit by lzy20050916
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2011/10/18 20:32:21 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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原文由 金水楼台先得月(albert800922) 发表:
可以在TDS调节，但是前提你能进TDS




请问调节P10气体的流量，是调节“1 detector gas valve”,还是“2 manual flow adjustment”呢？？？


应该是调节1 detctor gas valve，但是TCM界面只能监控，并不能改变P10气体流量，要打开仪器测盖，从流气输入控制装置上的小阀门调节。
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2011/10/18 20:46:57 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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可以在TDS调节，但是前提你能进TDS




请问调节P10气体的流量，是调节“1 detector gas valve”,还是“2 manual flow adjustment”呢？？？


应该是调节1 detctor gas valve，但是TCM界面只能监控，并不能改变P10气体流量，要打开仪器测盖，从流气输入控制装置上的小阀门调节。

这个调节需要关机么
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k_bryant24
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2011/10/18 21:51:20 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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可以在TDS调节，但是前提你能进TDS




请问调节P10气体的流量，是调节“1 detector gas valve”,还是“2 manual flow adjustment”呢？？？


应该是调节1 detctor gas valve，但是TCM界面只能监控，并不能改变P10气体流量，要打开仪器测盖，从流气输入控制装置上的小阀门调节。

这个调节需要关机么

不需要关机，但是一般最好在非真空状态下调节，怕一下子调节不当对窗口膜有损
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2011/10/19 10:43:11 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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可以在TDS调节，但是前提你能进TDS




请问调节P10气体的流量，是调节“1 detector gas valve”,还是“2 manual flow adjustment”呢？？？


应该是调节1 detctor gas valve，但是TCM界面只能监控，并不能改变P10气体流量，要打开仪器测盖，从流气输入控制装置上的小阀门调节。

这个调节需要关机么

不需要关机，但是一般最好在非真空状态下调节，怕一下子调节不当对窗口膜有损


打开侧盖，流气输入控制装置上的小阀门在哪个位置？能发个图片吗？
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