惭愧的问，XPS和EDS有什么区别啊？

xlbmcr

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2006/6/18 21:54:00 35楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

他们的激发原理\使用领域完全不同,XPS偏重于价态分析,表面深度在nm级,有关资料到处都可以看到.

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2006/6/18 22:00:00 36楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

"横向空间分辨率基本上取决于电子束束斑大小",这种讲法错误,请注意.

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easuz

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2006/8/2 9:28:00 37楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

都是高手啊，问题还没有结束，希望能继续讨论下去。

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jfgood

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2006/8/2 16:27:00 38楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

XPS是可以测价态得，EDS好像不可以吧：）

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小石头

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2006/8/6 1:19:00 39楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

XPS应该可以在个别元素上达到100个ppm的

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小石头

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2006/8/6 1:24:00 40楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

EDS测试深度1个微米以上，属于元素分析，主要对重元素灵敏，B到U，H，He, Li是测不出的，XPS比EDS浅，纳米级别，通常和TOF-SIMS联合测试

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小石头

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2006/8/6 1:27:00 41楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

另外AES（俄歇电子能谱，Auger)对轻元素灵敏，TOF-SIMS 的英文 time of flight-secondary ion mass spectrometer

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jking007

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2006/8/8 10:41:00 42楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我也想要得到指点！邮箱：jking007@163.com,先谢谢！

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主题：惭愧的问，XPS和EDS有什么区别啊？