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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：【讨论】spot size 的大小调整

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chasedream
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发表于：2011/10/17 10:21:33 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在做扫描电镜时，如何来调整spot size 的大小，SS的大小对图像质量有什么影响？对能谱分析结果有什么影响?
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2011/10/17 15:40:46 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
spot size在扫描电镜中也是一个很重要的参数。冷场电镜比热场电镜的束斑小，更比钨灯丝的小，所以在观察图像时钨灯丝电镜更需要注意SS的调整。我们用人眼的分辨率0.3mm计算一下SS的调整。1000倍下SS要小于0.3mm÷1000=300nm ，同理10000倍下要小于30nm ，100000倍下要小于3nm 。屏幕的分辨率也要与之相适应才能得到清晰地图像。如果不满足上述条件图像就会模糊。研究表明，人们只有当图像叠加两个以上像素的时候，才能感觉到模糊。我们可以在图像采集时设置一个图像分辨率，该设置必须高于由束斑直径确定的二次电子图像分辨率。对能谱的影响看http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20111011/3581588/
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2011/10/17 22:55:15 Last edit by fengyonghe
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2011/10/30 14:00:47 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
100000倍下要小于3nm， 这么小？
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2011/10/30 20:50:10 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 unht(unht) 发表:
100000倍下要小于3nm， 这么小？

钨灯丝6nm,热场3nm，冷场1nm
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