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主题：【求助】求XRD测量薄膜残余应力问题

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monkeydkkk
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发表于：2011/10/21 16:56:19 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不知道有没有用XRD测量过薄膜残余应力朋友，求指点一下，我的薄膜是TiAlN/CrN多层膜，厚度只有1um，本人采用sin2(fai)法的方法测过，但是过程由于薄膜太薄，没有薄膜的峰信息，只有基底峰，不知有没有人遇到过类似情况，求指导！！或者能告诉我北京哪里可以做这方面的测试？谢谢！！
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大陆
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2011/10/24 17:38:35 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果薄膜峰不明显时，使用小角衍射有可能获得更多信息。
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2011/10/25 14:48:38 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 大陆(handsomeland) 发表:
如果薄膜峰不明显时，使用小角衍射有可能获得更多信息。

小角衍射确实能获得更多的信息，但是介于测残余应力方法的局限性，不能用小角，只能在对称高角度下测，所以不晓得有没有专门的设备能小角下测残余应力，且样品平面能偏转！！
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