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主题：风压不够导致仪器忽然熄火

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blueices

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发表于：2006/04/18 08:57:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

今天做样品(仪器是美国热电ICP)风压不够导致仪器忽然熄火,请问对仪器是否有影响??我的风压原来是0.8左右,现在改造后变成只能达到0.5左右,今天做样大约用了一个半小时,风压忽然由0.5掉到0.3左右,仪器忽然熄火,显示RF除了问题,不知道这样对仪器是否有影响. 今天最开始点火就不顺利,一共点了四次,两次是点不着火,显示就是点不着PLASMA,第三次点着了忽然整体死机,电脑所有地方都点不动,然后强制熄火,第四次才算正常. 各位帮忙分析下原因好吗? 我都不敢再动ICP了.

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2006/4/18 15:15:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

热电的ICP等离子体的排风机通常流量为30m3/s的.如果低于此值时会造成大量热量聚集在等离子体室内.温度传感器会有警报出错的.

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2006/4/18 15:21:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

通常不能顺利点火熄火的原因
1：RF功率多大？？？
2：蠕动泵进样管是否漏气？
3：等离子体点火前净化时间？？
4：高频放电点位置（点火头）？？？
5：Ar纯度？？？
6：室内环境？？？？
7：抽风机>30m3/min????
8：option项是否把desktop 21-cfr选上了，这是模拟状态？？？？要这样就麻烦了，得download一下，还得看有没有强度，没强度只能cal TJA了？？？？
9：0.5~0.8MPa?????

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blueices

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2006/4/19 10:15:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

活土匪真是个专家啊. 谢谢谢谢. 今天热电工程师正好来装自动进样器,我问他他说应该对机器没什么太大影响. 而且如果是排风有问题应该会报警的,机器没报警说明不是排风的问题. 他把机器整个检查一下,发现没出什么问题.然后测试了几个小时也没再发生熄火现象. 不知道前天是什么原因. 因为当时忽然熄火,而且条件参数都是以前设置的,我的RF以前也发生过问题,可是技术员来都找不到原因, 只说有可能操作不当.

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