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主题：【求助】用XPS好还是SEM-EDX 好？

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liweihua
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发表于：2012/04/16 20:53:06 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我想分析这个钢管里面的化合物的元素成分？用XPS还是用SEM-EDX 的比较好？谢谢！估计其化合物含有Cu,C,O,S,H等元素。
附件：
compound.doc
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feixiong5134
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2012/4/18 15:24:51 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个要看是在钢管里面还是表面，XPS只能测试表面10nm左右的物质
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blackbeauty
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2012/8/1 15:28:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这主要取决于以下几点：
1.杂质分布区域和含量；
2.关注的是元素种类，还是元素的化学态信息。

EDX 分析的比较深，并且只能得到元素种类信息。
XPS金属分析的深度只有~3nm，做深度剖析的话才可得到深度信息，但通常小于1微米。不过除了元素种类外，能得到元素化学态的信息。
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