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主题：【求助】有什么办法可以去除G1胶而不损坏Si的么？

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w4m0330
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发表于：2012/06/20 22:35:12 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有块MBE长的Si样品上面有些III-V，需要看横截面的加热In-situ样品变化的情况，感兴趣的区域在样品最表层的10nm厚。表面不能有对贴的G1胶，因为G1胶在表面就会影响加热以后样品的变化。
常规做样（研磨，tripod）试验了两个多月都失败了，除了FIB，请教各位还有什么办法可以做？

我另外想问的是，有没有什么化学试剂可以溶解（腐蚀）G1胶却不会损坏Si的么？
多谢啦
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2012/6/20 22:49:51 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有点没看明白，是截面样品还是平面样品，如果截面样品出了薄区，你可以用氩离子清洗试试，一般都是用它清理有机物什么的，不知道对G1胶有没有效。
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2012/6/21 2:28:34 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 yihuiiii(yihuiiii) 发表:
有点没看明白，是截面样品还是平面样品，如果截面样品出了薄区，你可以用氩离子清洗试试，一般都是用它清理有机物什么的，不知道对G1胶有没有效。


谢谢先，这个试过了，离子清洗只能去除表面有机物，对于G1胶无能为力。
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ivy_duan
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2012/6/22 17:01:14 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没有看明白 G1胶是什么时候到表面的？你是说在样品减薄好以后要去掉表面的胶？把打好的样品在丙酮里面多泡一会行吗？

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perpetualcat68
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2012/6/22 18:06:58 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我刚刚看错了，G1在截面中间吧。G1该属于Epoxidharz-Klebstoff, 用后似乎只能机械的方法去除。
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2012/6/22 18:50:18 Last edit by perpetualcat68
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2012/6/22 20:25:58 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 perpetualcat68(perpetualcat68) 发表:
我刚刚看错了，G1在截面中间吧。G1该属于Epoxidharz-Klebstoff, 用后似乎只能机械的方法去除。


嗯，G1是在截面中间。问了Gatan的人，说确实没有什么化学试剂去除G1胶的办法。
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2012/6/22 20:36:21 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

如图所示，样品需要看的是横截面，兴趣区是样品表面（不是横截面的表面）大约10nm的区域，表面有纳米级的小孔，不能被G1胶覆盖（否则就没有机会看到加热的情况了）。试了很久都没有成功，悲催啊
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kaleidoscope
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2012/6/25 9:46:50 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你的离子减薄仪有带冷台的吗，如果有我给你一个建议可以，应该可以行的。
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justsoso哈
v3099950
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2016/4/19 9:49:47 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
您好!课题跟您做的很相像，也遇到了这个问题，能不能交流一下啊？QQ1760986813
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