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气质联用（GCMS）

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主题：【讨论】DSQ搬场后，前级真空抽起来比搬场前慢很多，导致原因？

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zjswm

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发表于：2012/07/03 12:50:07 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

DSQ搬场后，前级真空抽起来比搬场前慢很多，抽8小时也到不了60mTorr，检查仪器也不漏，导致原因？

该帖子作者被版主 symmacros加 2积分， 2经验，加分理由：欢迎发帖。

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2012/7/3 13:17:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

也检查一下真空泵的油位线是否合适？油干净吗？泵放油口是否上紧？也检查泵到MS的连接管是否有漏气。

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xujianguang

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2012/7/3 14:11:17 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

应该有地方漏气吧重新检查一下机械泵也要看看

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蓝是那么的天

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2012/7/3 14:13:35 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

看下泵油，以及泵有没有放稳。

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phillyrin

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2012/7/3 17:06:08 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

分子泵启动了吗？抽了8h，抽到多少压力啦？
检查一下真空腔的各种接头，可能会在搬场的时候震松了

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tenky

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2012/7/6 15:35:54 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

在质谱调谐报告中leakcheck显示不漏气的情况下，请
更换机械泵泵油（若是新的，建议震气10分钟）；
检查气相柱评价值是否正常，柱流量是否正常（流量偏高造成前级压力偏大）；
检查机械泵与分子涡轮泵的接头是否松了，特别是分子涡轮泵端容易忽视；
检查CI反应气模块是否存在泄漏情况；

若搬场前停机时间较长，建议再抽一夜观察。

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