我们单位有一台Quanta 3D FEG的扫描电镜,一个月前出现一个故障,具体描述如下:因为是场发射的,所以一般周末时灯丝也是点着的,一个月前的一个周一,打开显示器一看,右下角显示真空状态的图标,电子枪部分显示为灰色,见附图,当然电子枪真空出问题了,灯丝也就自然降为零了,观察日志显示时FGSU通讯故障。然后把电子枪真空抽上,也就2分钟就抽好了。前几周一般都是每个周末出现一次,偶尔工作日会出现一次,总之这一个月出现了6-7次了。打电话问工程师,工程师让我注意后面电源柜的通风散热,我把电源柜的后盖也打开了,屋内空调一直在22度左右,也感觉不到散热不好,现在就是不知道原因。后来又打电话问了另一个工程师,说怀疑时离子泵的电源有问题。 哪位高手有遇到过这种类似的问题啊,帮忙指教一下啊,急啊。心里纠结。