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透射电镜（TEM）

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主题：【求助】如何在F20上调出HAADF点阵像？

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xdd1987

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发表于：2012/12/04 22:39:36 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

请问各位高手，如何在F20上调出高分辨的HAADF像？最近一直在调，但是老是没结果，望高手赐教！

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2012/12/6 11:53:16 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

你想看多高的分辨率？是晶体么？有没有转到 major zone axis? rochigram调好了么？用的是什么参数，比如aperture size啊，spot size之类的？

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大布口袋

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2012/12/6 14:22:41 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

1.电镜条件调好
2.样品足够好

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2012/12/7 9:46:38 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 LittlePanda(v2653428) 发表:
你想看多高的分辨率？是晶体么？有没有转到 major zone axis? rochigram调好了么？用的是什么参数，比如aperture size啊，spot size之类的？

想看三个埃的分别率。带轴是在普通模式下转的；ronchigram是在STEM模式下40K左右调的，用2号C2光阑套住那小鱼眼，spot size是6，这样的条件可行吗？

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2012/12/7 9:47:29 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 大布口袋(taboo) 发表:
1.电镜条件调好
2.样品足够好

关键是调好的标准是什么？望赐教！

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大布口袋

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2012/12/7 10:22:44 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 xdd1987(xdd1987) 发表:
原文由 大布口袋(taboo) 发表:
1.电镜条件调好
2.样品足够好

关键是调好的标准是什么？望赐教！

Direct alignment里:

1. Beam shift

2. Rotation Center

3. Beam tilt pp X & Y

最终要调好的有:

1. Defocus

2. Ronchigram ( Condensor astigmatism)

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大布口袋

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2012/12/7 10:24:53 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 xdd1987(xdd1987) 发表:
原文由 LittlePanda(v2653428) 发表:
你想看多高的分辨率？是晶体么？有没有转到 major zone axis? rochigram调好了么？用的是什么参数，比如aperture size啊，spot size之类的？

想看三个埃的分别率。带轴是在普通模式下转的；ronchigram是在STEM模式下40K左右调的，用2号C2光阑套住那小鱼眼，spot size是6，这样的条件可行吗？

Sport size 6不可行要8以上

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2012/12/7 12:03:53 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 大布口袋(taboo) 发表:
原文由 xdd1987(xdd1987) 发表:
原文由 大布口袋(taboo) 发表:
1.电镜条件调好
2.样品足够好

关键是调好的标准是什么？望赐教！

Direct alignment里:

1. Beam shift

2. Rotation Center

3. Beam tilt pp X & Y

最终要调好的有:

1. Defocus

2. Ronchigram ( Condensor astigmatism)

Gun Tilt不调吗？Rotation Center调节是抬小屏看样品上某一特征区域是不是面向你上下跳跃？还是有其他判断标准？

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2012/12/7 12:05:27 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 大布口袋(taboo) 发表:
原文由 xdd1987(xdd1987) 发表:
原文由 LittlePanda(v2653428) 发表:
你想看多高的分辨率？是晶体么？有没有转到 major zone axis? rochigram调好了么？用的是什么参数，比如aperture size啊，spot size之类的？

想看三个埃的分别率。带轴是在普通模式下转的；ronchigram是在STEM模式下40K左右调的，用2号C2光阑套住那小鱼眼，spot size是6，这样的条件可行吗？

Sport size 6不可行要8以上

是不是想看更高的分别率就需要更大的spot size，但这样束流岂不是很低？

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2012/12/7 12:09:29 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 大布口袋(taboo) 发表:
原文由 xdd1987(xdd1987) 发表:
原文由 LittlePanda(v2653428) 发表:
你想看多高的分辨率？是晶体么？有没有转到 major zone axis? rochigram调好了么？用的是什么参数，比如aperture size啊，spot size之类的？

想看三个埃的分别率。带轴是在普通模式下转的；ronchigram是在STEM模式下40K左右调的，用2号C2光阑套住那小鱼眼，spot size是6，这样的条件可行吗？

Sport size 6不可行要8以上

你们一般C2的intensity设置在多少百分数啊？

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2012/12/7 13:52:20 10楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 xdd1987(xdd1987) 发表:
原文由 大布口袋(taboo) 发表:
原文由 xdd1987(xdd1987) 发表:
原文由 LittlePanda(v2653428) 发表:
你想看多高的分辨率？是晶体么？有没有转到 major zone axis? rochigram调好了么？用的是什么参数，比如aperture size啊，spot size之类的？

想看三个埃的分别率。带轴是在普通模式下转的；ronchigram是在STEM模式下40K左右调的，用2号C2光阑套住那小鱼眼，spot size是6，这样的条件可行吗？

Sport size 6不可行要8以上

你们一般C2的intensity设置在多少百分数啊？

Rochigram调节跟mag没有关系，你可以增加camera length来放大它方便调节。TF20一般用C2＝70um。在做STEM alignment的时候，要退出衍射模式（press diffraction button on the control pad)，在最高的SA 倍数下，改变C2 lens得到最小的束斑。

电镜的调节可以这样做：

1. 在STEM 下取一张相先，把amorphous area 挪到图片中间，然后把beam park 在image 中间（ use the beam park position tool in TIA, double click the beam park position and input (0,0) nm), 调rochigram, 尤其是condenser stigmatism.

2. 退出衍射模式，象在TEM模式下那样调alignment, 包括 center C2 apt, beam tilt pp, rotation center, 如果beam不圆，可以用objective stigmitor 去调圆。然后改变intensity得到最小的probe.

3. 进入衍射模式，改变z height来focus the sample.然后可以细调rochigram 或图像。

可以先用cross-grating sample 试，如果能看到atomic plane说明电镜调节没问题。然后在放你得样品，如果看不到，也许你的样品的质量不是特别好。

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