主题:【讨论】气质分子涡轮泵停止了。

浏览0 回复17 电梯直达
gzl861225
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昨天做样是好好的,今天想做样时发现分子涡轮泵停止转动了。很奇怪?重启仪器分子涡轮泵工作,当真空到达一定值之后,Fore pressure值越来越大?难道是分子涡轮泵坏掉了?有没有遇到类似问题的?
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原文由 steven(myoak) 发表:

检查下是否有漏气。


一般有哪些地方会漏气呢?
蓝是那么的天
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原文由 蓝是那么的天(matt_zheng) 发表:

楼主使用的什么型号的仪器?


Thermo 的Trace DSQ
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机械泵也检查一下,可能泵油不够了,或者有其他故障
安平
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xiaowei_zhuang
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原文由 gzl861225(gzl861225) 发表:

昨天做样是好好的,今天想做样时发现分子涡轮泵停止转动了。很奇怪?重启仪器分子涡轮泵工作,当真空到达一定值之后,Fore pressure值越来越大?难道是分子涡轮泵坏掉了?有没有遇到类似问题的?


过完年,我的Trace ISQ也遇到了类似的问题,分子泵不转,但是Fore Pressure能到70 mT,昨天色魔的工程师来,检查下来说分子泵故障,老板脸要绿了,买新的色魔要将近13W大洋,咨询爱德华说不能修,只能换,也要5W大洋,泪崩!
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