原文由 timstoICPMS(timstoICPMS) 发表:
ICPMS的工作模式
①按射频发生器功率RF Power,可分为热焰(1000W以上)和冷焰(600W以下)。
对于常规测试,我们通常用热焰;在冷焰模式下,等离子焰温度不高,由于Li Na Mg Al K Ca 第一电离能比较低,它们在冷焰模式下依然能有效电离;而以Ar为基体的多原子干扰产率则很低(例如40Ar16O干扰56Fe、40Ar35Cl干扰75As、40Ar38Ar干扰78Se、40Ar40Ar干扰80Se),因此半导体行业(单晶硅、多晶硅)经常用冷焰模式测定高纯材料中 极其微量的 Li Na Mg Al K Ca 。
②按照碰撞反应池,可分为:标准模式(No gas,不通气体)、碰撞模式(通He气)、反应模式(通入H2、O2、NH3、CH4)
Varian使用的 ETP DM16型检测器是全数字量程,按说不需要做脉冲与模拟双模校正(Pulse-Analog Cross-Calibration)。但Varian检测器有 低、中、高、自动 四种衰减选项,要配A、B两种浓度的多元素溶液(并且B溶液浓度约是A溶液的50倍),让仪器知道该选择哪个衰减选项——很类似于P-A因子。