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透射电镜（TEM）

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主题：【求助】在透射电镜中做能谱分析怎样设置高压和束斑？

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fengyonghe

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发表于：2013/02/21 22:51:07 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

如题请解答。。。。。。

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2013/2/22 8:51:35 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

哥们我看你在SEM版，问TEM怎么调能谱的高压和束斑，在TEM版问SEM怎么调能谱的高压和束斑，这，是不是发帖时开小差了，呵呵

在TEM下，一般高压调得不多，除非样品特别易受损伤或者为了降低样品本身不存在的峰，如Cr、Fe等，至于束斑嘛，目前用的日本电子的设备有一个EDS模式，可以选择不同尺寸的束斑

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2013/2/22 14:23:02 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

是我写错了，应该问同一个问题。阁下的回答就是我的问题。还请问：1，做能谱分析是否一定要用EDS模式；2，束斑最小可以是多少？谢谢

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洪星二锅头

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2013/2/22 15:07:16 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

FEI的电镜是几年前上学时用过，用的是F20，具体怎么操作以及记得不太清，但是FEI是没有EDS模式的，日立的电镜用的是很老的，没有配能谱，其他的电镜没用过

日本电子的EDS模式其实就是使用小角度的会聚光，不一定要用EDS模式，在TEM模式也是可以的，但是在TEM模式不知道束斑的尺寸，在EDS模式，束斑尺寸有几个档位，0.5nm、1nm、2nm、3nm、5nm、10nm、15nm、25nm，不过即使选择0.5nm的束斑，由于光的色散、棱镜以及设备本身的局限性，束斑的尺寸会扩展到1nm甚至是几个nm

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2013/2/22 15:44:33 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

谢谢阁下回答，有问题再请教。

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2013/2/22 16:20:28 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

在TEM里 HT高压是可以调的不过因为调节高压后电子波长改变磁透镜的汇聚焦点发生改变所以需要重新进行系统光路合轴通常如果需要的话 FEI的电镜可以预存几个常用电压的合轴
束斑可以通过Gun lens或者spot size进行改变这个很容易实现主要是通过在condensor聚光镜部分改变磁透镜强度来实现光束的不同程度的会聚投射到样品上束斑大小可以进行控制

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