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icp中途熄火,這要從icp形成的等离子體過程去分析,一般來説,點火時設備提供的功率最大,可以保證Ar的電離充分從而有助於形成等離子躰火炬,但正常工作時,設備的功率一般都是最大功率的80%左右,而且爲了保證輸出功率的穩定性,都加了功率反饋,這樣在測試過程中,進樣的溶液如果不均勻或有空氣進入,可能會局部加電離,因爲等离子體与高壓方面是通過綫圈耦合的,這樣等离子體電流加大,將影響功率調節,功率調節將出現誤判,通過反饋,自動降低輸出功率,因爲溶液只是一時現象,而功率的調節确是實時的,儅將功率調小以後,而溶液确恢復正常,此時因Ar气電離成分不夠,不能維持等离子體,從而熄火,因此在熄火后須及時関高壓,否則容易出問題。