此故障有三种可能的原因。
A.扩散泵油装载量不合适,油加得太多将导致泵冷却,加得太少将导致泵过热。放空系统,并按照硬件手册中推荐的体积来检查液面。
B.扩散泵冷却扇没以正确的速度工作,或正对着一堵墙限制了空气的流通。将手放到扩散泵后面,检查从 MSD 排出的是不是热风。
C.泵上的过冷过热温度开关故障。可以参考硬件手册的故障排除部分检查这个问题。如果一个或两个开关都坏了,则扩散泵电缆需要更换。在硬件手册的零件部分找到仪器型号的电缆信息。要更换电缆,需要使用安捷伦科技公司部件号为# 8710-0614 的工具。仪器自带的工具包中没有这个工具。