原文由 andrew-zhang(andrew-zhang) 发表:平时只是听说190nm以下需要开吹扫,不知道是刚好190nm这个临界点还是大概190nm?原文由 砂锅粥(czcht) 发表:原文由 andrew-zhang(andrew-zhang) 发表:比较低波长的话应该就有比较大的区别了。比如测P的。原文由 砂锅粥(czcht) 发表:
这个应该没啥问题,不过你里面有两种元素的谱线波长低于190nm,可能需要开光室吹扫。
一定要吹扫吗?我们平时没有吹扫,As用188跟193波段的,差异不是很大啊
我们平时都是开着高吹的,所以也不知道开和不开的区别大不大。
那可能190nm附近的还好吧,更低的估计不行了