主题：【讨论】ICP-MS和选型

原文由 envirend(envirend) 发表:
不知道给你改的型号对不对呢？没有听说过7700B 。

  一般而言，7700s有Cool模式，多用于多晶硅行业。

原文由 光哥(xsh1234567) 发表:

原文由 envirend(envirend) 发表:
不知道给你改的型号对不对呢？没有听说过7700B 。

  一般而言，7700s有Cool模式，多用于多晶硅行业。

斑竹错鸟。。。。现在的A家，从7500开始（应该还更早），只要配备了shield torch的，全部都可以做cool plasma。而且这个模式也应用于简单基体的溶液，并非多用于多晶硅行业的。

只是很多人认为cool plasma相对比较难调谐，而且半导体光伏行业的多是7700s（7500cs），有氢气的气路，所以多用H2模式来替代cool了

7700s号称是面向半导体高纯材料的行业，因为它是在洁净环境中组装的，而且仪器的包装考虑了洁净度。相对7700x包装确实是比较注重这方面。

噢，sorry，我没用过7700x，用的是7500cx和7700s。7500cx这个应该就是对应7700x了。

原文由 envirend(envirend) 发表:
7700X用碰撞模式，7700S用冷模式；至于7700X能否用冷模式，我不是很清楚，反正根据我们当前使用的7700X，它没有冷模式。

原文由 timstoICPMS(timstoICPMS) 发表:

原文由 envirend(envirend) 发表:
7700X用碰撞模式，7700S用冷模式；至于7700X能否用冷模式，我不是很清楚，反正根据我们当前使用的7700X，它没有冷模式。

每一台ICP-MS都有 标准模式(No Gas) 和 冷焰模式（Cool Plasma）。

对于绝大部分测试，我们用的是热焰（RF功率>1000 W），调谐时关注：低中高元素灵敏度(例如 Li  Y  Tl)、氧化物产率(140Ce16O+/140Ce+，即156/140)、双电荷产率（140Ce++/140Ce+，70/140）。

在半导体高纯行业，为了检测<ppb级别的 Li Na Al K Ca Fe Rb Sr 杂质，就会用到冷焰模式。冷焰不仅仅是RF功率<700W，还涉及采样深度拉长、载气流量、硬提取透镜参数等。热焰是Ar+等离子体（Ar的第一电离能15.76 eV），冷焰是NO+等离子体（NO的第一电离能9.26 eV)。冷焰模式下，NO+等离子体能量不足，只能将这些元素电离：Li=5.39 eV，Na=5.14 eV，Al=5.99 eV，K=4.34 eV，Ca=6.11 eV，Fe=7.90 eV，Rb=4.18 eV，Sr=5.69 eV。

冷焰调谐时主要关注 7Li  59Co灵敏度，也会瞄一眼140和156/140比值。Ce的第一电离能是5.54 eV，但Ce+瞬间与O结合生成CeO；由于Ce-O键能最强，冷焰不足拆解Ce-O，所以冷焰调谐时观察到：140Ce计数是零，156有少许计数，156/140比值越大越好——理论上是无穷大。所以冷焰核心：156/140比值无穷大。