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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：SEM连用的能谱仪探测深度大约是多少？急！

浏览0 回复9 电梯直达
cheneylin
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发表于：2006/07/11 22:23:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位高手，
    该仪器最大电压大约是20kv，是否如说明书上所说的探测分析深度只有300nm?我需要做更深度的元素分析，请问该怎么办？
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沉舟
cz_sem
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2006/7/12 8:43:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
问问题前先在论坛里找找，一般都有的
http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20050226/129443/

http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20060529/440614/
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Last edit by cz_sem
zemb
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2006/7/13 12:42:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
SEM、能谱仪只能进行表面成分分析，有效深度几百纳米到十几微米（根据分析样品的成分而异），再深的位置产生和出射的X射线强度就极小了，不能做内部分析。
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ynp
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2006/7/13 13:09:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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ynp
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2006/7/13 13:11:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
dfshghdhgfh fethet64jfncbv betahgw4tjhncbv    rgb reg er
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tem_abc
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2006/7/13 15:32:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 cheneylin 发表:
各位高手，
    该仪器最大电压大约是20kv，是否如说明书上所说的探测分析深度只有300nm?我需要做更深度的元素分析，请问该怎么办？

做SIMS或者用FIB刨掉表层....
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yuxiao_zihan
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2006/7/14 15:26:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是不是可以用ICP分析
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cheneylin
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2006/7/15 18:01:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢大家的回复！
我需要探测的是介质薄膜内部元素，不知道针对这种薄膜，该仪器的探测深度大约是多少？看了帖子里介绍的计算方法，但还是不甚明白。我的理解是，是不是针对金属薄膜，由于其电子束缚能力弱，可探测深度大；而介质薄膜，其电子束缚能力强，可探测深度小，而不论是介质或金属，其探测范围一般都在300nm~1000nm，是吗？请大家继续指教！谢谢
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phyleon
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2006/7/18 4:12:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
貌似AES可以做深度剖析
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zemb
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2006/7/21 12:27:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 cheneylin 发表:
谢谢大家的回复！
我需要探测的是介质薄膜内部元素，不知道针对这种薄膜，该仪器的探测深度大约是多少？看了帖子里介绍的计算方法，但还是不甚明白。我的理解是，是不是针对金属薄膜，由于其电子束缚能力弱，可探测深度大；而介质薄膜，其电子束缚能力强，可探测深度小，而不论是介质或金属，其探测范围一般都在300nm~1000nm，是吗？请大家继续指教！谢谢


在扫描电镜中，产生X射线的深度主要与样品的原子序数有关，对于钢铁类金属，深度约为1微米，对于重元素要浅些，对于一些轻元素，深度可达到十几微米。
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