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主题：【求助】怎么做Pt溅射镀膜厚度检查

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iangie
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发表于：2013/09/20 11:11:27 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
SEM版的朋友们大家好~

我们的Pt sputtering coater通常使用范围是做2-10nm 厚的coating.

溅射仪上有基于晶体震荡原理的thickness monitor, 但是我们不太相信. 想做独立的厚度检查.

你们知道怎么测量这么薄(2-10nm)的镀层厚度吗?  基体为玻璃片.

谢谢~
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2013/9/20 12:33:50 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我的经验一般溅射仪上的测厚结果都比较准确，如果你不相信，直接把镀好确定厚度Pt膜（最好厚点例如大于10nm）的样品断面抛光（最好采用离子刻蚀法）在电镜下直接测量厚度。当然你需要先校准扫描电镜标尺。
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2013/9/20 12:50:19 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gsys(v2664607) 发表:
我的经验一般溅射仪上的测厚结果都比较准确，如果你不相信，直接把镀好确定厚度Pt膜（最好厚点例如大于10nm）的样品断面抛光（最好采用离子刻蚀法）在电镜下直接测量厚度。当然你需要先校准扫描电镜标尺。


10 nm基本上都是很多SEM的分辨率极限了...能看清吗? 我们主要想看2 nm左右厚度的coating 层......
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gsys
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2013/9/20 18:19:33 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
论坛里介孔材料的照片很多，你可以找找看“是否10nm是很多SEM的分辨率极限”，4800可以清晰分辨几个纳米的介孔孔道。但是这个结果不确定度会偏大，这是电镜标尺误差带来的。你要准确测量2nm厚度的镀膜层，不确定度你应该特别关心。也就是你认为2nm±0.xnm中X是多少合适，还是2nm±1nm的结果你就认可？
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2013/9/21 23:12:11 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gsys(v2664607) 发表:

论坛里介孔材料的照片很多，你可以找找看“是否10nm是很多SEM的分辨率极限”，4800可以清晰分辨几个纳米的介孔孔道。但是这个结果不确定度会偏大，这是电镜标尺误差带来的。你要准确测量2nm厚度的镀膜层，不确定度你应该特别关心。也就是你认为2nm±0.xnm中X是多少合适，还是2nm±1nm的结果你就认可？


"很多"只得是W灯丝电镜. 热场发射最多也就1~2nm的分辨率啊.

"不确定度"怎么确定呢? 就算是高放大倍数栅格标样也没有那么细的啊~
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gsys
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2013/9/22 6:33:47 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果你要准确测量2nm的薄膜厚度，用扫描电镜不确定度会较大，至于“不确定度”怎么确定这个问题，建议你去看看不确定度评定的书，简单地说不确定度就是你以前所谓的误差，只是系统考虑了多个因素。
再说钨灯丝分辨率也不至于到10nm那么差，现在很多扫描电镜标称分辨率达到0.8nm（二次电子像，30kV).测量厚度没有问题，只是误差会偏大。所以我建议你做10nm的厚膜，看看扫描电镜测量结果与镀膜仪测量结果之间相差有多大，你就会对2nm的薄膜镀膜仪测量结果误差有个概念了。
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2013/9/22 13:06:25 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gsys(v2664607) 发表:
如果你要准确测量2nm的薄膜厚度，用扫描电镜不确定度会较大，至于“不确定度”怎么确定这个问题，建议你去看看不确定度评定的书，简单地说不确定度就是你以前所谓的误差，只是系统考虑了多个因素。
再说钨灯丝分辨率也不至于到10nm那么差，现在很多扫描电镜标称分辨率达到0.8nm（二次电子像，30kV).测量厚度没有问题，只是误差会偏大。所以我建议你做10nm的厚膜，看看扫描电镜测量结果与镀膜仪测量结果之间相差有多大，你就会对2nm的薄膜镀膜仪测量结果误差有个概念了。


关于SEM空间尺度标定的"不确定度评定的书"能否推荐一本?  谢谢~
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2013/9/22 13:10:12 Last edit by iangie
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2013/9/22 15:11:19 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请参阅GBT 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则
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kutoku
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2013/9/22 15:32:16 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
开会的时候有老师说可以用原子力探针来检测镀膜的厚度
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iangie
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2013/9/22 18:03:08 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gsys(v2664607) 发表:
请参阅GBT 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则


那个标准主要考虑的就是标样的误差和电镜分辨率. 标样的误差一般很少大于1‰ 误差主要来源可能就是电镜分辨率和被测长度的比值. 测10nm确实比测2nm有优势.

谢谢
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2013/9/22 18:11:09 Last edit by iangie
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2013/9/22 18:04:55 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 kutoku(kutoku) 发表:
开会的时候有老师说可以用原子力探针来检测镀膜的厚度


AFM测厚度也是要标定的, 其误差可能比SEM还大咯...
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2013/9/22 18:05:33 Last edit by iangie
手机版： 怎么做Pt溅射镀膜厚度检查
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