主题:【求助】钽管看断面工具和方法

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amilan
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大家好!

我现在有一个技术问题,我的是一个钽管,钽管内壁有五氧化二钽薄膜,薄膜的厚度应该是100-200纳米左右,目前想看断面分层情况,SEM已经有了,主要是现在该怎么制备SEM好的断面。能够明显的看出分层。有什么仪器,什么方法,大家给我建议下,有惊喜礼物哦~~~多谢!
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amilan
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gao007007
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很简单,用hitachi im4000离子研磨仪加工一下就可以。

下图是我今年做的样品,是金属丝外有镀层,镀层只有50nm厚。仅仅做了一次就成功了。

小M
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amilan
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第一个图片怎么看啊?你们是什么金属啊?
原文由 gao007007(gao007007) 发表:
很简单,用hitachi im4000离子研磨仪加工一下就可以。

下图是我今年做的样品,是金属丝外有镀层,镀层只有50nm厚。仅仅做了一次就成功了。

gao007007
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原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
是先用树脂镶样了吧


按理说是,但偷懒直接用热蜡粘的。
小M
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是先用树脂镶样了吧


按理说是,但偷懒直接用热蜡粘的。
抛光了吗?
gao007007
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金属丝用刀片切断的,没有抛光,直接离子研磨

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是先用树脂镶样了吧


按理说是,但偷懒直接用热蜡粘的。
抛光了吗?
小M
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金属丝用刀片切断的,没有抛光,直接离子研磨


查一下才知道,离子研磨比抛光要精细多了
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