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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：我们的SEM出现了一种怪现象

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tongtianke
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发表于：2006/05/08 18:51:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
前几天，我们的SEM（日本电子产品）出现了如下怪现象：我们做微晶玻璃的切面晶相时怎么也不能把图象调清楚，后来检查发现SEM的液晶显示屏上出现了如下非常信息：HT  ON-------L.C  199uA,紧接着出现OVER  CURR，然后出现L.C  0uA.这种信息反复出现，调节灯丝电流时还是这样，知识199uA的数值发生其他变化，其他不变。请问这是什么原因，可能由什么造成，如何处理这个问题？谢谢！
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2006/5/9 13:10:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
先检查一下装灯丝的栅极帽里是否清洁,与灯丝固定柱接触的卡片是否有松动
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tongtianke
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2006/5/11 8:23:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sunnysky 发表:
先检查一下装灯丝的栅极帽里是否清洁,与灯丝固定柱接触的卡片是否有松动


谢谢1我们最终检查发现问题就是出在灯丝上，从上面清理出一些异物，和你说的一致。
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