主题:【求助】关于电镜分辨率计算问题!

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fengyonghe
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第一项球差 ,第二项色差,第三项像散差,第四项衍射差,第五项只针对钨灯丝束流、亮度与束斑直径的关系。第一项球差应该有0.5系数,核对是书上错了,谢谢指正。0.4=1/(3.14^2÷4)
总之没有利用光镜中的公式。
gsys
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既然您自己已经看到书上说第四项叫“衍射差”,就分辨率概念而言,光镜和电镜是一样的,都是成像后两点之间可以区别的最小距离。这个公式充分考虑了所有影响因素,只是光学显微镜色差和球差可以消除到很小,而且最小点直径可以认为近似为点光源,所以其他项都不考虑,只考虑了所谓的“diffraction limit"也就是你说的衍射差。你把我说的近似带进去看看,是不是一样?都是所谓的艾利斑半径就是两个点光源间可以区别的最小距离。
另外,第五项并不只是针对钨灯丝束流、亮度与束斑直径的关系,对场发射也一样,如果书上写仅对钨灯丝,那也错了!这一项指的是由于电子枪发出的电子束最初存在一定直径,经过透镜聚焦后在焦平面上形成的点不是点光源,存在一定直径,这个直径用这部分来表示。而光学显微镜因为可以认为在焦平面上形成的是点光源,这部分可以不考虑。
电镜和光学显微镜分辨率考虑的因素是一样的,只是不同因素占的比例不同。
fengyonghe
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那你就回答LZ的问题吧



还有,上面的公式中的电子折射率是多少啊?不明白?冯老师帮我!

上面那些就是LZ的问题,请你回答。
fengyonghe
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原文由 gsys(v2664607) 发表:
既然您自己已经看到书上说第四项叫“衍射差”,就分辨率概念而言,光镜和电镜是一样的,都是成像后两点之间可以区别的最小距离。这个公式充分考虑了所有影响因素,只是光学显微镜色差和球差可以消除到很小,而且最小点直径可以认为近似为点光源,所以其他项都不考虑,只考虑了所谓的“diffraction limit"也就是你说的衍射差。你把我说的近似带进去看看,是不是一样?都是所谓的艾利斑半径就是两个点光源间可以区别的最小距离。
另外,第五项并不只是针对钨灯丝束流、亮度与束斑直径的关系,对场发射也一样,如果书上写仅对钨灯丝,那也错了!这一项指的是由于电子枪发出的电子束最初存在一定直径,经过透镜聚焦后在焦平面上形成的点不是点光源,存在一定直径,这个直径用这部分来表示。而光学显微镜因为可以认为在焦平面上形成的是点光源,这部分可以不考虑。
电镜和光学显微镜分辨率考虑的因素是一样的,只是不同因素占的比例不同。


我们是在讨论扫描电镜,你的这些概念属于透射电镜范畴。
gsys
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这个问题,我前面以前回答过,在真空中电子束传播的n是1。LZ给出的示意图中角度看上去很大,实际在扫描电镜中采用光阑限制后,这个角度非常小,一般是几mrad。可以计算一下,Sin(0.005rad)近似等于0.005;Sin(0.01rad)近似等于0.01。所以在扫描电镜中sin(角度)近似可以认为等于角度(单位为弧度,不是度)。因此扫描电镜中的衍射限定直径(diffraction limit)也就是您认为的r可以认为是0.6乘以电子束波长再除以角度。这样就可以解释您列举的书里那部分的内容。书上那个公式是错误的,系数是0.6而不是1.22。这个公式您可以再确认一下别的文献,系数是否是0.6。
gsys
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扫描电镜、透射电镜和光学显微镜在分辨率概念上是一样的,只要把分辨率概念弄清楚了,都可以相通的。
fengyonghe
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原文由 gsys(v2664607) 发表:
这个问题,我前面以前回答过,在真空中电子束传播的n是1。LZ给出的示意图中角度看上去很大,实际在扫描电镜中采用光阑限制后,这个角度非常小,一般是几mrad。可以计算一下,Sin(0.005rad)近似等于0.005;Sin(0.01rad)近似等于0.01。所以在扫描电镜中sin(角度)近似可以认为等于角度(单位为弧度,不是度)。因此扫描电镜中的衍射限定直径(diffraction limit)也就是您认为的r可以认为是0.6乘以电子束波长再除以角度。这样就可以解释您列举的书里那部分的内容。书上那个公式是错误的,系数是0.6而不是1.22。这个公式您可以再确认一下别的文献,系数是否是0.6。


还是透射电镜范围的东西。我们不用重复说了。回答lz的问题吧。
gsys
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这怎么是透射电镜呢?扫描就是这个概念啊,问题我已经回答了n=1啊!
fengyonghe
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原文由 gsys(v2664607) 发表:
这怎么是透射电镜呢?扫描就是这个概念啊,问题我已经回答了n=1啊!


折射率在光镜中是指图像经介质进入镜头时,介质的折射率。如图



在扫描电镜中不存在这样的光路,怎么会有折射率的概念?透射电镜是有这样的光路。
gsys
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他们都叫您冯老师,我也叫您冯老师。折射率是个物理概念,定义为:光在真空中的速度与光在该材料中的速度之比率。电子束具有波粒二像性,且扫描电镜镜筒中真空度至少由于10的负三次方,可以近似认为是真空,电子束在其中传播速度最高,所以可以认为电子束在扫描电镜镜筒内中折射率n为1.
你说的是发生折射这个现象,和公式中的折射率完全不是一个概念!不管有没有折射发生,折射率这个概念都存在。
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