实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8042807今日发帖：7 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
扫描电镜（SEM/EDS）
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：【求助】关于电镜分辨率计算问题！

浏览0 回复32 电梯直达
gaominghen
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2013/09/29 13:24:49 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请教各位几个问题：


1.真空中，不同加速电压下，电子束的波长是多少，比如5、10、15、20KV？


2.真空中，不同加速电压下，电子束的折射率是多少，比如5、10、15、20KV？


3.日立s-4800上带有4个光阑分别是多少微米？它们的孔径角是多少？谢谢各位！
为您推荐
近期热榜
热门活动
您可能想找: 气相色谱仪(GC) 询底价
选参数 看心得 找厂商 查方案
专属顾问快速对接
立即提交
可能感兴趣
fengyonghe
fengyonghe
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2013/9/29 14:53:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gaominghen(gaominghen) 发表:
请教各位几个问题：1.真空中，不同加速电压下，电子束的波长是多少，比如5、10、15、20KV？

                                    2.真空中，不同加速电压下，电子束的折射率是多少，比如5、10、15、20KV？

                                    3.日立s-4800上带有4个光阑分别是多少微米？它们的孔径角是多少？谢谢各位！


1，

2，只在真空中传播不通过其他介质无所谓折射率。折射率说的是某种介质的折射率。

3，同一个光缆工作距离不同就有不同的孔径角，不同的光阑在不同的工作距离上也可以有相同的孔径角。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
fengyonghe
fengyonghe
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2013/9/29 14:57:50 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gaominghen(gaominghen) 发表:
请教各位几个问题：1.真空中，不同加速电压下，电子束的波长是多少，比如5、10、15、20KV？

                                    2.真空中，不同加速电压下，电子束的折射率是多少，比如5、10、15、20KV？

                                    3.日立s-4800上带有4个光阑分别是多少微米？它们的孔径角是多少？谢谢各位！


1，



2，只在真空中传播无所谓折射率，折射率说的是介质的折射率。

3，同一个光阑不同的工作距离有不同的孔径角，不同的光阑在不同的工作距离上也可以有相同的孔径角。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
gaominghen
gaominghen
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2013/9/30 9:37:08 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢，楼上，很明白了！
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
gaominghen
gaominghen
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2013/9/30 9:41:37 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那么，是不是在同一个光阑和相同加速电压下，缩短工作距离，分辨率降低？
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
gaominghen
gaominghen
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2013/9/30 9:43:45 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
还有，上面的公式中的电子折射率是多少啊？不明白？冯老师帮我！
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
gaominghen
gaominghen
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2013/9/30 15:44:32 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
冯老师来啊！
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
fengyonghe
fengyonghe
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2013/9/30 17:49:34 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gaominghen(gaominghen) 发表:
那么，是不是在同一个光阑和相同加速电压下，缩短工作距离，分辨率降低？


上面那个公式是针对光学显微镜的，α大则 r 小，分辨率高。在扫描电镜中最高分辨率理论上等于束斑直径。也不存在折射率。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
gsys
v2664607
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2013/10/1 21:37:55 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼上的观点实在不敢苟同！前面提到的这个公式仅仅是针对光学显微镜的吗？显然不是！扫描电镜的分辨率由四部分共同决定（高斯斑直径、色差最小弥散斑直径、球差最小弥散斑直径以及衍射限制直径），我这里发不了公式！前面提到的这个公式得出的叫diffraction limit diameter。因为光学显微镜用的可见光波长较长，这部分对光学显微镜的影响是巨大的，所以光学显微镜分辨率低。但是对扫描电镜而言，即使是1kV下的电子束波长也远远小于可见光波长，因此即使工作距离变小，透镜半张角略有增大，diffraction limit diameter的略微增加也不影响整个最终分辨率。但是工作距离减小，导致球差系数减小，这会显著降低球差弥散斑最小直径，这部分对扫描电镜分辨率的贡献要大得多，所以工作距离小，分辨率更高。另外真空中折射率n为1。
赞贴
1
收藏
0
拍砖
0
举报
fengyonghe
fengyonghe
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2013/10/2 2:23:33 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 gsys(v2664607) 发表:
楼上的观点实在不敢苟同！前面提到的这个公式仅仅是针对光学显微镜的吗？显然不是！扫描电镜的分辨率由四部分共同决定（高斯斑直径、色差最小弥散斑直径、球差最小弥散斑直径以及衍射限制直径），我这里发不了公式！前面提到的这个公式得出的叫diffraction limit diameter。因为光学显微镜用的可见光波长较长，这部分对光学显微镜的影响是巨大的，所以光学显微镜分辨率低。但是对扫描电镜而言，即使是1kV下的电子束波长也远远小于可见光波长，因此即使工作距离变小，透镜半张角略有增大，diffraction limit diameter的略微增加也不影响整个最终分辨率。但是工作距离减小，导致球差系数减小，这会显著降低球差弥散斑最小直径，这部分对扫描电镜分辨率的贡献要大得多，所以工作距离小，分辨率更高。另外真空中折射率n为1。


张大同书的第2页—第7页对这些问题讲的比你清楚，前面那个光学公式在扫描电镜中不知在哪个地方用过。看了你的回复后，我又重新看了一遍书，仍没有找到那个公式是如何使用的。你能否明示？

在扫描电镜中，极限分辨率等于束斑直径，在考虑到各种像差和像散之后，束斑直径与加速电压、束流、物镜张开半角之间的关系如下式：



更正系数：



公式中α是孔径半角。这个公式与光镜中分辨率和α的关系式完全不同。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
2013/10/3 12:14:24 Last edit by fengyonghe
gsys
v2664607
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2013/10/2 8:06:36 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我不知道怎么发公式，你的这本书中关于最小束斑直径的说法是不完全正确的。第一项应该是球差，少了0.5这个系数；第二项是色差，第三项其实就是你提的这个公式，只是由于角度较小，sin近似等于角度了，1.22应该是0.6,这个1.22怎么来的，我估计是把波长与能量换算时的系数1.22搞在这里了；最后一项应该是高斯斑直径（和亮度以及样品电流还有半张角有关），如果我没理解错的话，B应该是亮度，0.4也是近似值，4除以3.14的平方近似为0.4.
赞贴
1
收藏
0
拍砖
0
举报
手机版： 关于电镜分辨率计算问题！
猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁