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主题：【原创】莫名其妙掉真空，幸好只是虚惊一场（帖子太后面了，标题要再长一点点）

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小M
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发表于：2012/04/18 20:42:22 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
某日中午，正常测样，在移动样品的过程中，突然高压自己切断，仪器发出高压切断的声音——虽然平时经常听，可是突然发出这样的声音，很吓人和迷惑啊！——同时弹出提示"Column pressure too high”，缩小到四分之一窗口，竟然发现Chamber Pressure的值变成了- Pa（-表示值很大，常压就显示-）



正在疑惑之际，Chamber Pressure的值又突变成了X.X*10-2 Pa（X表示某，具体值不记得了），然后慢慢降到了10-3  Pa数量级，可以开高压。此后再无异常……

如果真的是Column或者Gun的那部分真空出问题了，那真是玩完了，停工吧，休息吧！
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2012/4/19 8:10:30 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
压力一下就升高了？
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2012/4/19 8:48:21 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
会不会是受电压的影响呢
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zhangjiancn
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2012/4/19 10:24:20 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有可能是外电网剧烈波动造成的，连稳压电源都抗不住了。
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2012/4/19 11:01:30 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样品潮湿吧~~~
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小M
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2012/4/19 11:11:31 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zhw19811005(zhw19811005) 发表:
压力一下就升高了？
突然升高，又突然降低
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小M
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2012/4/19 11:12:12 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zhangjiancn(zhangjiancn) 发表:
有可能是外电网剧烈波动造成的，连稳压电源都抗不住了。
这个有可能哦，还有可能是分子泵间歇性罢工？
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小M
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2012/4/19 11:13:16 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 冬季(lylsg555) 发表:
样品潮湿吧~~~
样品是干的，合金，不过用树脂镶样了
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linzq
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2012/4/20 8:49:40 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 linzq(linzq) 发表:
原文由 小M Orz=3(mitchell_dyzy) 发表:
原文由 冬季(lylsg555) 发表:
样品潮湿吧~~~
样品是干的，合金，不过用树脂镶样了

树脂会不会某些部位含有大量挥发物。你的现象就是样品仓真空变差，这有两个原因漏气还有就是样品里面挥发物较多，后来能抽上去说明不太可能是漏气，那就是样品挥发物较多，当你样品移动到含有大量挥发物的部位时，这些挥发物让电子束瞬间大量激发出来破坏了真空。
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yoyo
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2012/4/20 10:15:42 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们的最近也偶有掉高压的情况，不过真空好象都是正常的，最起码等我查看真空值的时候是正常的，再开高压可以继续看，所以我也一直没深究原因。
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小M
mitchell_dyzy
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2012/4/20 20:39:55 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 linzq(linzq) 发表:
树脂会不会某些部位含有大量挥发物。你的现象就是样品仓真空变差，这有两个原因漏气还有就是样品里面挥发物较多，后来能抽上去说明不太可能是漏气，那就是样品挥发物较多，当你样品移动到含有大量挥发物的部位时，这些挥发物让电子束瞬间大量激发出来破坏了真空。
这个可能性更大，树脂挥发（被电子束打过是挥发么？）很影响真空，所以我移动时的路径尽量选择有样品处、导电胶等位置
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