主题：【讨论】扫描电镜聚焦和工作距离的关系

原文由 hytpco(hytpco) 发表:
各位大虾，请教个问题。我们的电镜工作距离会随着聚焦而变化，是不是哪个参数没有调好啊！我觉得正常应该是几乎不变的。如果是的话应该怎么调节，谢谢！

原文由 ventyxu(ventyxu) 发表:

原文由 hytpco(hytpco) 发表:
各位大虾，请教个问题。我们的电镜工作距离会随着聚焦而变化，是不是哪个参数没有调好啊！我觉得正常应该是几乎不变的。如果是的话应该怎么调节，谢谢！

聚焦距离：就是电子聚焦时（正焦）的距离；WD：样品表面到接物镜的距离。两者在理论上值是一样的。

原文由 hytpco(hytpco) 发表:
谢谢各位。但是我觉得开始通过调样品台升降，已经调节到某个工作距离了，调焦工作距离不应该跟着变动啊，因为我并没有升降样品台。就是说实际工作距离和调焦工作距离是一会事吗？

原文由 hytpco(hytpco) 发表:
各位大虾，请教个问题。我们的电镜工作距离会随着聚焦而变化，是不是哪个参数没有调好啊！我觉得正常应该是几乎不变的。如果是的话应该怎么调节，谢谢！

原文由 驰奔(srd2009) 发表:
谢谢你！也就是说实际工作距离和通过调焦得到的工作距离是一致的？我们老电镜剑桥S360就是先调节到能谱效果最佳的位置，然后手动调节样品台，等图像最清楚就调好了。

还有个问题，我想做20K或者30K倍的高倍组织观察（低合金碳钢材料碳化物析出相），参数怎样调节比较好（如工作距离等等）？电镜型号EVO50，现在到8000倍以上，图像就聚不清楚，有时有左右晃动的锯齿，一会没有，在过一会又有这种锯齿，我估计是象散的问题，物镜光阑位置不好。有识之士帮我看看，谢谢！

原文由 hytpco(hytpco) 发表:

原文由 驰奔(srd2009) 发表:
谢谢你！也就是说实际工作距离和通过调焦得到的工作距离是一致的？我们老电镜剑桥S360就是先调节到能谱效果最佳的位置，然后手动调节样品台，等图像最清楚就调好了。

还有个问题，我想做20K或者30K倍的高倍组织观察（低合金碳钢材料碳化物析出相），参数怎样调节比较好（如工作距离等等）？电镜型号EVO50，现在到8000倍以上，图像就聚不清楚，有时有左右晃动的锯齿，一会没有，在过一会又有这种锯齿，我估计是象散的问题，物镜光阑位置不好。有识之士帮我看看，谢谢！

金相样品比较平坦，工作距离可以小一些。我经常看到例如tescan的高倍照片，工作距离为4mm，我的习惯是5-7mm，这可能和电镜结构有关系，（探测器相对样品的位置，例如现在某些扫描电镜二次电子探测器主要位置样品室外可调）。
图像边缘左右晃动的锯齿可能是电磁干扰，有些电镜可以用同步照相屏蔽掉。象散是聚焦图像特征对角线方向的拉长，可以消除。

高倍图像要兼顾作用于样品的最小束斑尺寸，和成像的反差（信噪比能够接受）。