原文由 darkeye 发表:
难以确定,我最大限度的找到了3nm比较清晰的间隙。
好久不见您来,是论坛内容不吸引人吗,我一定会改进。
您是有心人,您的分辨率测量方法是最早的方法,也是最容易理解的方法,也最容易做,同时也是最受争辩的方法。
主要争辩有两点
一,照片的两度和对比度会直接影响在那里测量
二,物体的真正起始测量点倒是在哪里。
还有,即使是高对比度的样本,如照片上的炭上金,也很难找到一纳米的间隙。
由于以上原因, ZEISS首先提出了上述的分辨率测试方法,叫边缘测试法, EDGE RESOLUTION MEASUREMENT。