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主题：【求助】安捷仑7500cs如何测试多晶硅中硼，磷杂质

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马甲一号
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发表于：2013/12/20 13:48:01 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请教一下大家。具体是用外标法还是标准加入法测试比较好。然后磷元素怎么样才能测试准确。。
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2013/12/20 16:55:27 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
内标法测的比较好点吧 测准确可能不是那么容易
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马甲一号
v2841017
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2013/12/20 17:06:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没有配备在线内标进样。只能自己离线添加内标么。和外标法比较差别大不
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光哥
xsh1234567
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2013/12/21 23:27:44 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果是原生多晶当中的B/P含量，ICP-MS并不是标准方法，ICP-MS本身也做不到那么低含量的B/P的
7500cs的A家的攻城狮应该会推荐使用标准加入法，不明白的地方多打打电话骚扰他们一下。
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马甲一号
v2841017
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2013/12/22 20:32:13 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样品比较多。。。测的元素也很多，，标准加入有些麻烦呀
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timstoicpms
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2013/12/22 21:57:06 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 sonne86400(sonne86400) 发表:
内标法测的比较好点吧 测准确可能不是那么容易


不懂就不要乱发言。多晶硅行业向来都是 雾化器自吸模式进样，外标法测试——不会用到内标的。
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sonne86400
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2013/12/23 8:35:26 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 timstoICPMS(timstoICPMS) 发表:
原文由 sonne86400(sonne86400) 发表:
内标法测的比较好点吧 测准确可能不是那么容易


不懂就不要乱发言。多晶硅行业向来都是 雾化器自吸模式进样，外标法测试——不会用到内标的。


你懂就回答出来这样的解释啊 太来劲了 感觉你貌似比安捷伦工程师还厉害 有那么骄傲吗哈哈
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laidekeai
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2013/12/24 15:31:20 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你的样品如何处理啊，B能测得准吗？
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手机版： 安捷仑7500cs如何测试多晶硅中硼，磷杂质
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