原文由 sweetapple986(v2644276) 发表:原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
EDS能做样品元素面分布图,可对样品中存在的小质点做成分分析。X荧光光谱仪的分辨率要差得多了。
XRF没有分辨率一说哦,因为X射线不能像电子束一样被聚焦。相反,如果要说元素分辨率,XRF中的WDXRF比起EDS那是好太多了。
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EDS能做样品元素面分布图,可对样品中存在的小质点做成分分析。X荧光光谱仪的分辨率要差得多了。
XRF没有分辨率一说哦,因为X射线不能像电子束一样被聚焦。相反,如果要说元素分辨率,XRF中的WDXRF比起EDS那是好太多了。
你前一部分说的没错,XRF的束径最小也有0.1mm,没有资格谈分辨率,但是我们心中有数,它的分辨率大于0.1mm。正因为如此XRF中的WDX作为宏观分析精度高,其最小分析直径(分辨率)也是大于0.1mm。扫描电镜EDS的优势是对样品中的细小质点分析,所以XRF和EDS各有自己的应用领域,不能抬举一个否定一个。其实扫描电镜也可以装WDS。