EDX和XRF大体的功能上是一样的,就是拿来做元素成分分析。他们各有优缺点吧,EDX的话是配合SEM做的指向性更强的微区元素分析,可以针对性地区打某一个感兴趣的点,能量分辨率比较高,但是含量分辨率相对就比较低一些(0.1%的检出限);而XRF没办法指向性地针对某一个位置或者某一个点进行扫描,另外光源直径也比较大,但是特点是它的含量检出限就非常高,目前都是能做到ppm级别的,元素越重,检出限越高,像C\N\O\F等,检出限略差一些,有些甚至没法检出。还有一个就是XRF对样品形态要求不是特别高吧,你有溶液样品也能测,但EDS就不行。所以,综合考虑吧,两者有交叉,但没法说是冲突的。