主题:请问聚合物做SEM用不用先喷金或碳?想得到很高的分辨率,10纳米左右吧!

浏览0 回复11 电梯直达
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原文由 quanbaogang 发表:
这个问题很着急,请大家帮帮忙,有经验的出主意,有资源的出资源。
谢过大家了!

不知道冷场的行不行,或者热场的低压下看看,10 nm的分辨率倒不是太难,但喷碳或者喷金都要小心点,聚合物不是那么稳的。
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