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主题：【讨论】进样口的气路

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2014/4/10 8:32:16 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 hza123(hza123) 发表:
还真没仔细观察过，大小相差不大，确实一路是催扫气，不知道是细的一路还是粗的一路。


吹扫气是粗的那一路，粗是为了吹出可能的脏的东西；

细的那一路是载气，细些方便控制压力（或流量）。
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987654321sjr
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2014/4/17 11:50:15 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果是由EPC直接到进样口的，两根管线粗细差别不大都应该是16分之一英寸管线，感觉好像是隔垫吹扫那路粗点。
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987654321sjr
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2014/4/17 11:54:16 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果是由EPC到进样阀再到进样口的，粗点那根是走的载气，好像是套在细管外面有个粗管，细的是隔垫吹扫。
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wangtao0726
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2014/4/20 11:30:17 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
载气和隔垫吹扫没有错，没有4890的好像是一样粗细的。
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