主题:【求助】JEM2100F真空下掉

浏览0 回复3 电梯直达
透射电镜检测
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在插入样品杆的时候,指示灯(黄灯)一闪一灭的,然后真空就掉了一些,枪部分是正常的,PIG5/RT(预抽罐)也是正常的,其他的就不对了,相机室一开始是170μA,抽了一晚上后为92,但是PIG6一直很差,SIP的值在正常范围之类。

如图所示:

图片不能直接传,我压缩了下。我猜的是DP坏了,没有预热,也就没法启动,V9阀没法打开,也就不能抽相机室的真空
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wjianna
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kennyxue
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伸手摸一下DP 就知道工作正常不正常了, 不要接触的摸,距离一厘米感觉一下。 有热就是工作了。
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