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主题：【求助】扫描电镜 column chamber valve 经常报错，是哪出问题了？

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zhaokaino1
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发表于：2014/06/24 09:29:23 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
简单介绍一下情况：

电镜为Zeiss supra 55；最近一段时间，我们电镜在真空值达到要求后经常加不上高压，即点击EHT选项，只有Vent没有EHT On。观察发现是  column chamber valve 显示的是error，而抽好真空后的正常状态应该是column chamber valve显示Open；我们只能重新把真空卸掉，再抽一次，就可以显示正常，可以加高压。有时候真空度达到要求时，column chamber valve一开始显示的是Open，随后听到一声放气的声音，column chamber valve立马显示error。有时不注意，以为真空抽好了，就把设备关掉了，第二天开机就发现电子枪的真空度很低，样品仓的真空正常，但电流很弱，所以只能再泄气花很长时间把电子枪真空抽上来，这样电流才能升上来。这样下去，对设备也不好，还影响实验，所以求助各位有经验的老师，知不知道这是什么地方出了问题，感谢！
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2014/6/26 18:55:56 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
找售后解决啊
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