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主题：【求助】抽真空时机械泵老是自己停掉是怎么回事

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dianachen
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发表于：2014/08/29 09:51:51 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
热电XSERIES2的ICPMS，没怎么用，最近开机抽真空时机械泵总是自己停掉，报错显示turbopumperror，在线工程师说是漏气，让我清洗真空规，但是洗完装回去还是这样，一开始还能抽一两个小时，现在抽十分钟就停，而且报过一次错当天就不能再抽，要等第二天开机重来。仪器工程师来也是清洗真空规，连续开了五天又自己停掉了。请高手帮忙看看，谢谢！
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2014/8/29 15:33:07 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我这刚出完这毛病，是因为扩散阀里一个胶圈错位导致密封不严而漏气，你可以注意下转速到多少Hz就上不去了，我这现象是抽到411就怎么也上不去了，过会机械泵自己就停了
该帖子作者被版主 xsh1234567加 3积分， 2经验，加分理由：应助
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dianachen
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2014/8/29 16:19:54 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由v2738793发表： 我这刚出完这毛病，是因为扩散阀里一个胶圈错位导致密封不严而漏气，你可以注意下转速到多少Hz就上不去了，我这现象是抽到411就怎么也上不去了，过会机械泵自己就停了
我转速可以到1000hz的，真空规已经被我重装很多次，问题依旧，其他地方没敢动过
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狼牛牛
lang2899
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2014/8/30 20:22:28 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我那天是关机以后，再抽，抽一会儿就停，试了好几次，结果怒重启！好了。。。

无语啊！
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2014/8/31 23:16:29 Last edit by jieqian1211
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2014/8/30 22:17:12 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 狼牛牛(lang2899) 发表:
我那天是关机以后，再抽，抽一会儿就停，试了好几次，结果怒重启！好了。。。

无语啊！


没问工程师啥啥原因~
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jieqian1211
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2014/8/31 22:24:15 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由lang2899发表： 我那天是关机以后，再抽，抽一会儿就停，试了好几次，结果怒重启！好了。。。
无语啊！
你说的是机械泵那块妈吗
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阶前尘
jieqian1211
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2014/8/31 23:16:41 15楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 狼牛牛(lang2899) 发表:
我那天是关机以后，再抽，抽一会儿就停，试了好几次，结果怒重启！好了。。。

无语啊！


机械泵出现这个问题会不会是锥的问题呢
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逃出格子
andy917
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2014/9/1 16:10:34 16楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 dianachen(dianachen) 发表:
原文由v2738793发表： 我这刚出完这毛病，是因为扩散阀里一个胶圈错位导致密封不严而漏气，你可以注意下转速到多少Hz就上不去了，我这现象是抽到411就怎么也上不去了，过会机械泵自己就停了
我转速可以到1000hz的，真空规已经被我重装很多次，问题依旧，其他地方没敢动过

更换真空规，这么厉害？没换过！
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tuxlin
tuxlin
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2014/9/1 16:21:12 17楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
X2清洗真空规是基本操作，不会不行。
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狼牛牛
lang2899
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2014/9/1 18:33:54 18楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 阶前尘(jieqian1211) 发表:
原文由 狼牛牛(lang2899) 发表:
我那天是关机以后，再抽，抽一会儿就停，试了好几次，结果怒重启！好了。。。

无语啊！


没问工程师啥啥原因~

当天工程师也在，工程师也只有呵呵，，，呵呵。。。
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狼牛牛
lang2899
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2014/9/1 18:35:09 19楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 阶前尘(jieqian1211) 发表:
原文由 狼牛牛(lang2899) 发表:
我那天是关机以后，再抽，抽一会儿就停，试了好几次，结果怒重启！好了。。。

无语啊！


机械泵出现这个问题会不会是锥的问题呢

刚开始抽真空和锥应该没关系吧？！
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