原文由 zwhn2001(zwhn2001) 发表:
谢谢楼上两位的回复。
今天培训了下不带单色仪的STEM。感觉没有想象中的难。和大家分享一下:
1.首先(FEI Titan)FEG register里set已经设定好的STEM的文件(如果没有现成的文件就比较麻烦了,估计专家级水平的人就可以自己设定这个文件了)。
2.找到电子束,如果找不到就调gun wobbler,同时调整单色仪的shift。(因为虽然monochromator是unfiltered的状态,但是它是客观存在的,相当于gun lens)。
3. 按掉Diffraction,在STEM的image模式下,进行direct alignment,这个和TEM模式下的稍有不同。
a. Intensity slit,调Focus按钮,把电子束聚焦到一个点上。这时候如果回到Diff模式(按下Diff按钮),可以调样品高度到聚焦,这个高度就是STEM下的eucentric height。
b. nProbe pivot point X,把两个像泪滴一样的电子束最亮的地方重合(一般是在泪滴形状的尖端)。
c. nProbe pivot point Y, 同上。
d. Rotation center, 调正Focus step按钮把在摇晃的电子束调到静止,然后调MF X/Y,把最亮的地方调到电子束斑的中心。
e. Beam shift: 把聚焦成一点的电子束调到荧光屏中心,然后调Focus,让电子束发散,如果发现电子束不在中心了,说明C2 光阑偏了,调正C2 aperture centering,把电子束移回荧光屏中心。
4. 回到Diff模式下,调节象散。
可以利用Rochigram(就是所谓的鱼眼图,shadow image),因为STEM是衍射模式,这时候插入CCD相机,把光斑放到碳膜上,就能看的Rochigram,如果它不是圆的,说明有象散,调stigmator到Rochigram圆为止。
这时候调的是聚光镜象散,另外因为物镜的上极靴是用来形成束斑的,也可能有象散。所以有时候也需要调正物镜象散。物镜象散的调节方法和TEM模式类似,可以在双目镜下观察碳膜的衍射(和TEM下的FFT类似),调到圆为止。
象散也可以用CCD相机上的Focus按钮,利用图像来调,方法和SEM调节象散类似:调Focus直到能看到明显的向左或者向右的条纹,然后回到中间位置,这时候调节象散,直到图像最清晰。
另外如果中间更换了spot size,要重新确认象散和旋转中心。
和大家分享的过程也是我复习的过程。这个论坛很好,to teach is to learn again.
学习了,我记得在你4的地方插入CCD之前要点一个减弱接受信号选项,防止伤害相机,是在是记不清楚了,好久之前跟别人学习做过一次。不知道是不是应该有这一步