主题:【讨论】氦质谱检漏原理

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shineeast流
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氦质谱仪检漏的原理及国内外不同之处,及研究方向
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氦质谱仪是一种质谱仪??用氦气的就叫氦质谱仪吗??
lswxy
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shineeast流
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用氦气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。
florius
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