主题:【讨论】TEM投入使用整三年了,考虑请厂家做个大维保,请各位帮建议下,都可以做哪些内容呢?

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cocobobo
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如题,型号为JEM2100,使用有三年了,目前使用一切正常,但有这样一个机会,想请厂家做个维保。请大家给些建议!
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仙后婧婧(谭思婧)
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xuaiqun
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冷却水箱清洗。潘宁规清洗。光栏清洗。高压电缆头处理,等。
cocobobo
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原文由 xuaiqun(xuaiqun) 发表:
冷却水箱清洗。潘宁规清洗。光栏清洗。高压电缆头处理,等。
非常感谢!
仙后婧婧(谭思婧)
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原文由 xuaiqun(xuaiqun) 发表:
冷却水箱清洗。潘宁规清洗。光栏清洗。高压电缆头处理,等。
光栏还要清洗啊~~~~~~
xuaiqun
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cocobobo
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原文由 xuaiqun(xuaiqun) 发表:
光栏的清洗是用烧的方法。但要有对应的设备。
现在他们都不给清洗了 去年我们扫描电镜上的物镜光阑直接给换新的了
kennyxue
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可以考虑一下,

机械泵的油, 过滤网,换一下;看看油封有没有漏油。
penning规, 皮拉尼规 电位调节到最佳位置。

光阑看看有没有污染,如果有的话,换一下;
轨迹球有没有脏,如果操作不顺的话, 可以考虑清理一下;
光路可以重新合轴一下,看看中间镜, 投影镜的机械合轴是不是还在正常范围内,否则调整一下机械合轴。

测角台机械调整;

三个真空部分(枪,镜筒,照相室),可以做下测漏, 看看有没有问题。

高压箱 和 电子枪的SF6压力有没有变化。

高压输出的纹波是不是正常。
cocobobo
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谢谢,才看到。基本都做了。感谢宝贵意见。
原文由 kennyxue(kennyxue) 发表:

可以考虑一下,

机械泵的油, 过滤网,换一下;看看油封有没有漏油。
penning规, 皮拉尼规 电位调节到最佳位置。

光阑看看有没有污染,如果有的话,换一下;
轨迹球有没有脏,如果操作不顺的话, 可以考虑清理一下;
光路可以重新合轴一下,看看中间镜, 投影镜的机械合轴是不是还在正常范围内,否则调整一下机械合轴。

测角台机械调整;

三个真空部分(枪,镜筒,照相室),可以做下测漏, 看看有没有问题。

高压箱 和 电子枪的SF6压力有没有变化。

高压输出的纹波是不是正常。
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