谢谢,才看到。基本都做了。感谢宝贵意见。
原文由 kennyxue(kennyxue) 发表:
可以考虑一下,
机械泵的油, 过滤网,换一下;看看油封有没有漏油。
penning规, 皮拉尼规 电位调节到最佳位置。
光阑看看有没有污染,如果有的话,换一下;
轨迹球有没有脏,如果操作不顺的话, 可以考虑清理一下;
光路可以重新合轴一下,看看中间镜, 投影镜的机械合轴是不是还在正常范围内,否则调整一下机械合轴。
测角台机械调整;
三个真空部分(枪,镜筒,照相室),可以做下测漏, 看看有没有问题。
高压箱 和 电子枪的SF6压力有没有变化。
高压输出的纹波是不是正常。