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主题：【已应助】用安捷伦ICP-MS7700s测试金属Ti，取相对原子质量多少的合适

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豆豆3252
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发表于：2015/06/18 13:16:40 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用安捷伦ICP-MS7700s测试硅片金属Ti，取相对原子质量多少的合适？47？48
推荐答案：光哥回复于2015/06/29

关键是测出的数值很大程度上和工艺对不起来，或者说这个测试值完全没有意义
1、光伏用硅片：如果Ti的浓度超过XXppb，按理论转换效率会大幅度下降。事实上并没有——可以找下杨德仁老师的某ppt；
2、IC用的硅片：IC级的硅片对Ti的容忍度更低吧？确定分析结果可用？
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2015/6/18 15:28:31 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们选择的是47的。
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光哥
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2015/6/18 23:13:28 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
单四极杆的测不了，除非Ti的浓度达到一定的程度。但是Ti达到那个程度的话，这个硅片基本可以判定为废品了
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2015/6/18 23:14:03 Last edit by xsh1234567
又又1990
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2015/6/29 10:33:25 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 光哥(xsh1234567) 发表:
单四极杆的测不了，除非Ti的浓度达到一定的程度。但是Ti达到那个程度的话，这个硅片基本可以判定为废品了
是不是有特定的仪器可以检测呀
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光哥
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2015/6/29 10:53:33 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 又又1990(v2984502) 发表:
是不是有特定的仪器可以检测呀

8800或者高分辨吧。
SiO、SiOH、SiF、SiFH覆盖了Ti的全部稳定同位素
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又又1990
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2015/6/29 11:08:21 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 光哥(xsh1234567) 发表:

8800或者高分辨吧。
SiO、SiOH、SiF、SiFH覆盖了Ti的全部稳定同位素
哦哦  楼主可以试一下呢
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豆豆3252
v2868110
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2015/6/29 11:44:09 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢！我测试了超纯水和SI的能测试出数值，但是测试SIO2，就测试不出数值了。有更好的办法测试SIO2吗
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光哥
xsh1234567
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2015/6/29 12:39:57 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 豆豆3252(v2868110) 发表:
谢谢！我测试了超纯水和SI的能测试出数值，但是测试SIO2，就测试不出数值了。有更好的办法测试SIO2吗

关键是测出的数值很大程度上和工艺对不起来，或者说这个测试值完全没有意义
1、光伏用硅片：如果Ti的浓度超过XXppb，按理论转换效率会大幅度下降。事实上并没有——可以找下杨德仁老师的某ppt；
2、IC用的硅片：IC级的硅片对Ti的容忍度更低吧？确定分析结果可用？
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2015/6/29 12:43:30 Last edit by xsh1234567
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