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主题：薄膜的平面样品制备

浏览0 回复2 电梯直达
wangrh
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发表于：2006/10/13 22:00:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在做薄膜的平面样品时,采用了单面减薄,但是最后另外没有减的那面好象有东西附着,颜色变了,是因为单面减的原因?还是样品室被污染了,或者太热造成的.请高手指教啊,急的,谢谢!!!
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2006/10/14 18:22:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
单面减薄溅射的东西会沉积在另外一面，当样品穿孔后低电压小角度扫几分钟可能会好些。
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stallistic
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2010/9/21 10:17:13 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果膜很薄呢？5纳米？还能扫么？
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手机版： 薄膜的平面样品制备
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