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主题：【求助】求助大神！昨日S-3400N突然无法抽真空

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hongdesky
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发表于：2015/11/08 21:18:56 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
      求助大神！昨日S-3400N突然无法抽真空。
      故障现象 ：1、出现EVAC和AIR同时双闪  2、电脑显示故障“the  error  of  TMP  vacuum  pump  was  detected"  3 、报警声长鸣
现在机械泵似乎不像之前每逢按EVAC的就有很大声的抽气现象。今日已把机械泵机油换了；样品仓的密封圈也清洗并涂了点油；能谱仪也取出（排除能谱探头窗口破损），请教大神们有遇到过此问题或者有无些建议？谢谢！
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2015/11/9 8:15:56 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
TMP是涡轮分子泵，首先考虑它的故障问题。
如果它没问题，再看看机械泵抽真空能抽到分子泵的工作范围吗？
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kawagoe
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2015/11/9 16:14:45 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
建议尽快联系厂家
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hongdesky
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2015/11/9 19:21:07 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
TMP是涡轮分子泵，首先考虑它的故障问题。
如果它没问题，再看看机械泵抽真空能抽到分子泵的工作范围吗？
机械泵能通电，但感觉机械泵没收到指令一样，没工作
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hongdesky
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2015/11/9 19:21:25 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 kawagoe(kawagoe) 发表:
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hongdesky
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2015/11/10 21:58:50 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
今天厂家过来维修，无需更换配件，只对分子泵放了气，重新开机就恢复正常了
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2015/11/16 12:03:07 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由hongdesky(hongdesky)发表:今天厂家过来维修，无需更换配件，只对分子泵放了气，重新开机就恢复正常了
设备现在又出同样问题，其实前几天就出了问题，只是断断续续可以用，今天SEM每次放气时都报警分子泵问题
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hongdesky
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2015/12/5 16:48:35 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
TMP是涡轮分子泵，首先考虑它的故障问题。
如果它没问题，再看看机械泵抽真空能抽到分子泵的工作范围吗？
更换一个阀门，问题解决了
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okdb
v3097667
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2016/4/12 23:04:40 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样品仓的密封圈也清洗并涂了点油，什么油
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m3136732
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2016/8/25 12:49:35 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
同样的设备用了十年出现了同样的问题。供应商也是先做了一下清洗，怀疑堵塞。设备运行了三天后再出现同样的放气死机状况。最后通过排查检修结果是阀门老化，更换。
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hongdesky
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2016/8/26 20:56:28 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 m3136732(m3136732) 发表:
同样的设备用了十年出现了同样的问题。供应商也是先做了一下清洗，怀疑堵塞。设备运行了三天后再出现同样的放气死机状况。最后通过排查检修结果是阀门老化，更换。
我们也更换了阀门，问题解决了
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