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主题：【求助】EDS的空间分辨率是多少？

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发表于：2006/11/02 12:08:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我生长的是多层膜结构，每层的厚度是几十个纳米，能用EDS分析每一层的元素变化吗
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handsomeland
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2008/6/8 23:59:47 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
几十纳米对于透射来说应该算较厚的了，
是不是可以用TEM下的EDS或EELS？
当然要制备截面透射电镜样品，非常不易，但可行。
该帖子作者被版主 feixiong5134加 2积分， 2经验，加分理由：谢谢
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