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主题：【求助】安捷伦7890A氢气流量达不到设定值

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低头思念
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发表于：2016/07/04 10:10:55 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
安捷伦7890A开机正常，开机后能正常运行2~3个小时，后出现氢气流量下降的情况，氢气压力正常，钢瓶气，就连接了一台气相，管路无漏气。已经连续两天开机都是这种情况。各路大神，有遇到过这种情况吗?想问下怎么解决？
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2016/7/4 10:51:15 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
钢瓶氢气出口压力多少？有没有变化？
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lanmeijing
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2016/7/4 10:52:02 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
钢瓶压力够吗？达到0.3MPa？
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zhaobo0712
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2016/7/4 15:35:05 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是一直向下降还是降到某一点就稳定了，可能是漏气或者EPC有问题，或者你可以不开客气和尾吹，只开氢气观察看看氢气流量可以稳定多久，引起这个问题的原因比较多，如果没有过保就联系工程师吧。
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安平
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2016/7/4 20:22:10 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
    是FID氢气流量的控制有问题么？建议报修。
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danmaishenqiu
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2016/7/5 18:14:32 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
气体设置问题
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低头思念
v2991692
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2016/7/6 9:10:25 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 yzguo(yzguo) 发表:
钢瓶氢气出口压力多少？有没有变化？
钢瓶气出口压力0.3左右，没变化，气路也没查出漏气。
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低头思念
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2016/7/6 9:11:47 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zhaobo0712(zhaobo0712) 发表:
是一直向下降还是降到某一点就稳定了，可能是漏气或者EPC有问题，或者你可以不开客气和尾吹，只开氢气观察看看氢气流量可以稳定多久，引起这个问题的原因比较多，如果没有过保就联系工程师吧。
是正常运行2到3小时，然后氢气流量慢慢下降，下降一定程度仪器就自动熄火了。
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低头思念
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2016/7/6 9:12:44 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 安平(byron1111) 发表:
    是FID氢气流量的控制有问题么？建议报修。
我怀疑是，已经报修了，工程师还要3到7个工作日才上门啊
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低头思念
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2016/7/6 9:13:32 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 danmaishenqiu(danmaishenqiu) 发表:
气体设置问题
气体流量氢气30，尾吹30，空气300
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danmaishenqiu
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2016/7/6 12:50:17 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
尾吹流量大了，调10-20ml/min，因为氢气和尾吹气路经三通汇合一路再到检测器，停止报修
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2016/7/6 12:50:47 Last edit by danmaishenqiu
手机版： 安捷伦7890A氢气流量达不到设定值
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