主题:【讨论】请问分子泵放空后停止运转到0%的速度需要差不多30分钟时间这样正常吗?

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symmacros
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由于明天停电,今天关机,发现分子泵的惯性似乎特好,完全停下来用了近半个小时。是不是工作站的界面显示的分子泵速度不准确呢?
请问放空时候,分子泵的直接关闭还是逐步降速呢?
请问分子泵放空后停止运转到0%的速度需要差不多30分钟时间这样正常吗?
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风痕
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印象中分子涡轮泵降速应该是很快的,倒是源和四级杆的温度降的慢,到100度差不多需要半小时。下次注意一下。
bfm00
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印象中好像半个小时多点四级杆,离子源温度就降到100以下了,机械泵几分钟就不转了,真空硅上显示常呀,分子涡到没在意,下次注意下。
ruan651209
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T家能看到分子泵,完全停转,二十多分钟至少。
不过,温度是默认175度。
heiyecaihong
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雾非雾
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symmacros
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原文由 雾非雾(mcds) 发表:
反正正常关机好像要近半个小时。
我们关机需要40分钟以上,主要是降温慢。
MMYG
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symmacros
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原文由 风痕(yiwang520) 发表:
印象中分子涡轮泵降速应该是很快的,倒是源和四级杆的温度降的慢,到100度差不多需要半小时。下次注意一下。
是的,离子源和四级杆降温确实很慢,特别是四级杆更慢,40多分钟以上才能到100度。分子泵也是需要较长时间的。
symmacros
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原文由 bfm00(bfm00) 发表:
印象中好像半个小时多点四级杆,离子源温度就降到100以下了,机械泵几分钟就不转了,真空硅上显示常呀,分子涡到没在意,下次注意下。
分子泵马上会停止供电,但需要很长时间才能不转了。机械泵是一直在运转直到关闭MS电源。
symmacros
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原文由 ruan651209(ruan651209) 发表:
T家能看到分子泵,完全停转,二十多分钟至少。
不过,温度是默认175度。
A家完全停转也是20多分钟,差不多30分钟,即是A家不同机器的完全停转时间可能也不同。
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