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主题：【新手求助】菜鸟求大神教薄膜应力的测试方法

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Jacob姜
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发表于：2016/08/30 23:16:53 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
悬赏金额：20积分 状态： 未解决
最近踩有磁控溅射镀铜，想分析薄膜的参与应力，采用Jade6.5测试了微观应力及晶粒尺寸，选择黄继武老师教材里面建议的用两组平行的晶面作拟合后计算，但是方差很大，显然结果不对，现在心里很没底，想请教下有没有大牛做过这方面的工作，我看到有些大牛采用其他的仪器测试的薄膜应力，甚至还有三位的图出来，都是怎么测怎么算的啊？
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2016/9/7 22:36:47 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
薄膜有多厚？如果是微米级的用普通的sin2ψ法就可以测
如果是纳米级的最好用GID测应力了，不同的HKL峰的ψ偏角不同，用LEPTOS软件 就能求得Residual Stress
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