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主题：【求助】求助，高精度ICP MS机台求教！

浏览0 回复6 电梯直达
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发表于：2016/11/03 09:29:16 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位大大：
        我们计划购买一台ICP MS测量硅片表面各种金属离子浓度，因为在这方面是完全小白，求助各位大神；
        测量对象：硅
        测量指标：5E10/cm2（最好精度能达到1E11）；
        要求：操作简便，分析数据准确，易维护；
        请问业界那些ICP MS可以满足；
        小弟不胜感激！
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2016/11/3 9:43:41 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
VPD配安捷伦7900半导体型
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2016/11/4 12:48:25 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
ICP-MS各家都有测多晶硅的模块，应该是都能满足，不过价格较普通的要高，无非就是那几大家在做ICP-MS，thermo，PE，耶拿等等
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gz07apple
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2016/11/4 15:26:33 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼上在瞎扯，人家要测得是wafer表面杂质金属，跟多晶硅有个毛关系。。。
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浪花泉
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2017/5/5 16:27:22 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一楼正解！
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siri
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2017/5/8 15:12:59 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
冷等离子体测电子材料
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光哥
xsh1234567
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2017/5/8 21:00:47 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wolfly2007(wolfly2007)发表:ICP-MS各家都有测多晶硅的模块，应该是都能满足，不过价格较普通的要高，无非就是那几大家在做ICP-MS，thermo，PE，耶拿等等


多晶硅的表金属、体金属测试，与wafer表面金属测试方法上差得很远。这位仁兄应该是没接触过这个吧
顺便放一篇文章供参考
附件：
酸蒸-ICPMS测试晶元表面氧化层中痕量超痕量杂质元素含量.pdf
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2017/5/26 15:48:47 Last edit by xsh1234567
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