主题:【求助】请教大家!

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waiting
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各位帮忙,扫描还是透射打得能谱准阿?原因是什么?
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原文由 waiting 发表:
各位帮忙,扫描还是透射打得能谱准阿?原因是什么?

扫描的定量准确。透射一般是无标样定量,所以用来定性微区的成分比较好。
mrtang
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怪味陈皮
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做微区的成分分析,如果不用标样,透射上得到的结果要比扫描准,原因之一就是电子束的扩展效应。如图,都用10nm的束斑,用TEM上得到的成分数据来自可能来自15-20nm的区域,而SEM上得到的成分数据可能来自50nm的区域。
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