主题:【转帖】分子束外延生长过程

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wukemin
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MBE生长是由发生在衬底的一系列物理化学过程实现的,它是从气相到凝聚相,再通过一些表面过程的结果。这一复杂过程包括的具体过程包括:
(1) 来自气相的分子和原子撞击到表面而被吸附;被吸附的分子、原子在衬底表面发生迁移和分解。
  (2)原子进入衬底晶格形成外延生长。
  (3)未进入衬底晶格的分子、原子因热脱附而离开表面。
与其它外延生长不同,MBE外延生长可以认为是一种表面非平衡态生长过程。
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